レーザ剥離装置

フレキシブルディスプレイは、薄くて軽い、曲げられる、そして割れないという優れたメリットがあります。レーザ剥離（LLO）装置は、キャリアガラス状に形成されたフレキシブルディスプレイを、レーザ照射によりストレスなく剥離する装置です。波長の短い紫外光レーザを使用しており、剥離用の樹脂層の表層のみで吸収されるため、デバイスへのダメージを防ぐことができます。

特長

• 独自開発の基板搬送ステージにより、高生産性を実現（当社比50%アップ^※1）
• 搭載レーザの波長を選択可：エキシマレーザ (308nm) または固体レーザ (343nm)
• プロセスモニタリング機能（剥離判定）を搭載
• ターンキー機能を搭載（AIによる自動条件出し機能^※2）
• フットプリントの低減（当社比40%低減^※3）

※1 お客様が使用するラインビームのオーバーラップ率によります。
※2 深層学習による判定のため、お客様のご協力の下、剥離結果画像を複数枚取得する必要があります。
※3 フレキシブルディスプレイ対応 (G6ハーフサイズ)。

実績

フレキシブルディスプレイの量産用装置として日本、韓国、中国などのディスプレイメーカーに納入しています。

仕様

※ YIELDSCAN：登録商標番号6553271