レーザ微細穴加工装置

レーザ微細穴加工装置は、ポリイミドテープ、ガラスなどさまざまな材料に対し、マイクロメータ単位での微細孔を形成することができます。レーザによる加工のため局所的な熱処理ができ、電子デバイスの製造にも採用されています。当社は、本装置に最適な光学系、照射位置制御システムを開発し、産業界の要望に応えられる技術の蓄積を進めています。

特長

• 直径4µmの微細穴あけ加工
• 溝加工、パターニング
• アニーリング

実績

医療・美容機器の製造用途に使用されています。

仕様

加工事例

※ YIELDvia：登録商標番号6576711