レーザ微細穴加工装置

レーザ微細穴加工装置
YIELDvia ELD
レーザ微細穴加工装置

レーザ微細穴加工装置は、ポリイミドテープ、ガラスなどさまざまな材料に対し、マイクロメータ単位での微細孔を形成することができます。レーザによる加工のため局所的な熱処理ができ、電子デバイスの製造にも採用されています。当社は、本装置に最適な光学系、照射位置制御システムを開発し、産業界の要望に応えられる技術の蓄積を進めています。

特長

実績

医療・美容機器の製造用途に使用されています。

仕様

レーザ種類 エキシマレーザ
レーザ波長 248nm
ビームサイズ 4×2mm
最大エネルギー密度 1.6J/cm2
ビームスキャン XYステージ

加工事例

LMD装置で作製した2段階加工の事例

LMD装置で作製した2段階加工の事例

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