® ELD
レーザ微細穴加工装置は、ポリイミドテープ、ガラスなどさまざまな材料に対し、マイクロメータ単位での微細孔を形成することができます。レーザによる加工のため局所的な熱処理ができ、電子デバイスの製造にも採用されています。当社は、本装置に最適な光学系、照射位置制御システムを開発し、産業界の要望に応えられる技術の蓄積を進めています。
用途:レーザ加工(穴あけ加工)
業界:医療・美容
医療・美容機器の製造用途に使用されています。
| レーザ種類 | エキシマレーザ |
|---|---|
| レーザ波長 | 248 nm |
| ビームサイズ | 4 × 2 mm |
| 最大エネルギー密度 | 1.6 J/cm2 |
| ビームスキャン | XYステージ |

LMD装置で作製した2段階加工の事例
※ YIELDvia:登録商標(第6576711号)
