WHAT'S
JSW AKTINA?
AKTINAとは？
AKTINAってどんな会社？
レーザアニールって何？
レーザアニールって何？
WHAT IS AKTINA?
JSW Aktina って
どんな会社？
どんな会社？
JSWアクティナシステムは
日本を代表するレーザ装置メーカーです。
日本を代表するレーザ装置メーカーです。
エキシマレーザアニール装置のパイオニアとして長年フラットパネルディスプレイ・半導体業界をリードし、その革新的な技術開発力で皆さんの身近にある様々な製品の製造に貢献しています。
数字で見る
初号機の製作以来、約30年間にわたりレーザアニール装置を世界各地に送り出しています。
JSWアクティナシステムが生み出す技術革新はこれからも成長を続け、産業発展に貢献します。
JSWアクティナシステムが生み出す技術革新はこれからも成長を続け、産業発展に貢献します。
アクティナの実力
～世界の産業発展に貢献～
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エキシマレーザアニール
（ELA）装置
世界初の第1世代量産機0年※第1世代基板サイズ：300mm×400mm -
エキシマレーザアニール
（ELA）装置
世界初の第8.6世代量産機0年製造※第8.6世代基板サイズ：2290mm×2620mm -
エキシマレーザアニール
（ELA）装置
販売台数（累計）0台突破※2024年時点
Work Life Balance
～働きやすい職場～
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有給付与日数0日※入社初年度11日付与
2年目以降22日付与 -
平均勤続年数0年※2025年3月末
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新入社員定着率（3年）0%※2025年3月末
全世界・各分野の
産業に貢献
産業に貢献
- 通信・AI
- パワー半導体
- 液晶・有機EL
- センサー
- 加工機器
- 医 療
WHAT IS LASER ANNEALING?
レーザアニール
装置とは？
装置とは？
レーザアニールは、ウェハーやガラス基板の表面だけを熱処理できるため、表層だけを改質して結晶化、合金化、活性化といった各種の処理が可能です。中でもアクティナが開発したラインビーム・エキシマレーザアニール装置は広範囲で均質なアニール処理を可能とし、半導体やフラットパネルディスプレイ向けデバイスの量産に幅広く採用されています。
- 結晶化工程
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濃い灰色球はシリコン（Si）、白球は水素（H）を表しており、結晶構造が乱雑で無秩序な状態になっています。
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レーザアニール処理を通して、原子が規則正しく整列し、結晶化状態に変化します。
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- Si／SiC合金化工程
